S14.マイクロ～ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術
2019年3月27日(水) 10:30 〜 12:00 K会場 (吉田南総合館共北37)
座長:北本 仁孝(東京工業大学)
主催：ナノ・マイクロファブリケーション研究会
微細構造形成技術はマイクロメートルからナノメートルレベルへ急速に展開し，それに伴い従来の薄膜やリソグラフィ技術に加え，ナノ粒子形成や自己組織化といった新しい技術展開が進んでいる．またその応用も環境・エネルギーからバイオ・医療まで広範囲にわたっており，今後さらに拡大していくと予想される．本シンポジウムではマイクロメートルからナノメートルまでのサイズの微細構造を有する材料・デバイスの形成，及びそれらの応用技術を中心テーマとして扱う．具体的には，薄膜，微粒子等の材料作製から微細構造・デバイス形成，評価技術，加えてそれらを応用するシステム技術についても討論する場としたい．
10:30 〜 10:45
〇三浦 隆太郎1、北田 敦1、深見 一弘1、邑瀬 邦明1 (1. 京都大学)
スケジュール
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10:45 〜 11:00
〇湖山 貴之1、伊﨑 昌伸1 (1. 豊橋技術科学大学)
スケジュール
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11:00 〜 11:15
〇井口 翔太1、北田 敦1、深見 一弘1、邑瀬 邦明1 (1. 京都大学大学院)
スケジュール
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11:15 〜 11:30
〇森安 亮介1、柳下 崇1、益田 秀樹1 (1. ⾸都⼤都市環境)
スケジュール
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11:30 〜 11:45
〇白野 直斗1、柳下 崇1、益田 秀樹1 (1. ⾸都⼤都市環境)
スケジュール
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11:45 〜 12:00
佐藤 裕真1,2、〇越川 博1、山本 春也 1、杉本 雅樹1、澤田 真一1、八巻 徹也1,2、前川 康成1 (1. 国立研究開発法人 量子科学技術研究開発機構、2. 群馬大学大学院)
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