S14.マイクロ～ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術
Wed. Mar 27, 2019 1:00 PM - 2:15 PM K会場 (吉田南総合館共北37)
座長:深見 一弘(京都大学)
主催：ナノ・マイクロファブリケーション研究会
微細構造形成技術はマイクロメートルからナノメートルレベルへ急速に展開し，それに伴い従来の薄膜やリソグラフィ技術に加え，ナノ粒子形成や自己組織化といった新しい技術展開が進んでいる．またその応用も環境・エネルギーからバイオ・医療まで広範囲にわたっており，今後さらに拡大していくと予想される．本シンポジウムではマイクロメートルからナノメートルまでのサイズの微細構造を有する材料・デバイスの形成，及びそれらの応用技術を中心テーマとして扱う．具体的には，薄膜，微粒子等の材料作製から微細構造・デバイス形成，評価技術，加えてそれらを応用するシステム技術についても討論する場としたい．
1:00 PM - 1:15 PM
〇Michio Koinuma1, Takuya Mizoguchi1, Shintaro Ida1 (1. Kumamoto Univ.)
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1:15 PM - 1:30 PM
〇Kosuke Onuki1, Masahiro Kunimoto1, Takayuki Homma1 (1. School of Advanced Science and Engineering,Waseda University)
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1:30 PM - 1:45 PM
〇tsutomu shinagawa1,3, Hisaya Takahashi2, Masanobu Izaki3 (1. ORIST, 2. Mesh Co., 3. TUT)
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1:45 PM - 2:00 PM
〇Ryosuke Kudo1, Tomohiro Otani2, Yasuhiro Fukunaka3, Takayuki Homma1,2,3 (1. Dept. of Applied Chemistry, Waseda Univ., 2. Dept. of Advanced Science and Engineering, Waseda Univ., 3. Research Organization for Nano and Life Innovation, Waseda Univ. )
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2:00 PM - 2:15 PM
〇Mitsuru Watanabe1, Toshiyuki Tamai1, Yu Suenaga2, Hiroyoshi Naito2 (1. Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology, 2. Graduate School of Engineering, Osaka Prefecture Univ.)
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