S14.マイクロ～ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術
Wed. Mar 27, 2019 2:30 PM - 3:45 PM K会場 (吉田南総合館共北37)
座長:國本 雅宏(早稲田大学)
主催：ナノ・マイクロファブリケーション研究会
微細構造形成技術はマイクロメートルからナノメートルレベルへ急速に展開し，それに伴い従来の薄膜やリソグラフィ技術に加え，ナノ粒子形成や自己組織化といった新しい技術展開が進んでいる．またその応用も環境・エネルギーからバイオ・医療まで広範囲にわたっており，今後さらに拡大していくと予想される．本シンポジウムではマイクロメートルからナノメートルまでのサイズの微細構造を有する材料・デバイスの形成，及びそれらの応用技術を中心テーマとして扱う．具体的には，薄膜，微粒子等の材料作製から微細構造・デバイス形成，評価技術，加えてそれらを応用するシステム技術についても討論する場としたい．
2:30 PM - 2:45 PM
〇Takuya Muramatsu1, Mariko Matsunaga1 (1. Chuo Univ.)
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2:45 PM - 3:00 PM
〇Raraka Otomo1, Takashi Yanagishita1, Hideki Masuda1 (1. Tokyo Metropolitan Univ.)
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3:00 PM - 3:15 PM
〇Tatsuya Hirane1, Tatsuya Kameyama1, Susumu Kuwabata2, Yoshifumi Maegawa3, Shinji Inagaki3, Tsukasa Torimoto1 (1. Nagoya University, 2. Osaka University, 3. Toyota Central R&D Labs., Inc.)
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3:15 PM - 3:30 PM
〇Kohei Kumagai1, Taro Uematsu1, Tsukasa Torimoto2, Susumu Kuwabata1 (1. Osaka Univ., 2. Nagoya Univ.)
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3:30 PM - 3:45 PM
〇Watcharaporn Hoisang1, Taro Uematsu1, Kazutaka Wajima1, Martin Vacha3, Tatsuya Kameyama2, Tsukasa Torimoto2, Susumu Kuwabata1 (1. Osaka Univ., 2. Nagoya Univ., 3. Tokyo Institute of Technology)
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