14:30 〜 14:45
〇村松 拓哉1、松永 真理子1 (1. 中央大学)
S14.マイクロ~ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術
2019年3月27日(水) 14:30 〜 15:45 K会場 (吉田南総合館共北37)
座長:國本 雅宏(早稲田大学)
主催:ナノ・マイクロファブリケーション研究会
微細構造形成技術はマイクロメートルからナノメートルレベルへ急速に展開し,それに伴い従来の薄膜やリソグラフィ技術に加え,ナノ粒子形成や自己組織化といった新しい技術展開が進んでいる.またその応用も環境・エネルギーからバイオ・医療まで広範囲にわたっており,今後さらに拡大していくと予想される.本シンポジウムではマイクロメートルからナノメートルまでのサイズの微細構造を有する材料・デバイスの形成,及びそれらの応用技術を中心テーマとして扱う.具体的には,薄膜,微粒子等の材料作製から微細構造・デバイス形成,評価技術,加えてそれらを応用するシステム技術についても討論する場としたい.
14:30 〜 14:45
〇村松 拓哉1、松永 真理子1 (1. 中央大学)
14:45 〜 15:00
〇大友 良々歌1、柳下 崇1、益田 秀樹1 (1. 首都大都市環境)
15:00 〜 15:15
〇平根 達也1、亀山 達矢1、桑畑 進2、前川 佳史3、稲垣 伸二3、鳥本 司1 (1. 名古屋大学、2. 大阪大学、3. 豊田中央研究所)
15:15 〜 15:30
〇熊谷 康平1、上松 太郎1、鳥本 司2、桑畑 進1 (1. 大阪大学大学院、2. 名古屋大学大学院)
15:30 〜 15:45
〇Hoisang Watcharaporn1、上松 太郎1、輪島 知卓1、Martin Vacha3、亀山 達矢2、鳥本 司2、桑畑 進1 (1. 大阪大学、2. 名古屋大学、3. 東京工業大学)
要旨・抄録、PDFの閲覧には参加者用アカウントでのログインが必要です。参加者ログイン後に閲覧・ダウンロードできます。
» 参加者用ログイン