S19.電子材料及びナノ機能素子技術
Fri. Mar 29, 2019 10:00 AM - 2:30 PM C会場 (吉田南総合館共北25)
座長:早瀬 仁則(東京理科大学)、新宮原 正三(関西大学)
主催：電子材料委員会
半導体集積回路技術や電子実装技術等に用いられる電子材料技術においては，電気化学に基づく手法で様々な機能性電子材料や電子素子開発が検討されている．本シンポジウムでは，これらの機能性材料やマイクロからナノサイズに及ぶ電子素子に関連する最新の研究成果を相互に発表し，活発な討論を行うことを目的とする．具体的には，ナノメーターサイズのメモリやトランジスタなどの素子形成及び性能評価技術，3次元金属配線の形成及び材料技術，絶縁膜材料技術，ナノワイヤ・ナノ粒子の形成と機能素子化技術，めっき技術，CVD及びALD技術，化学エッチング技術，CMP技術，洗浄技術，及びこれらの技術分野に関連する評価・解析技術などの分野を包むものとする．なお本シンポジウムは，一般講演と招待講演から構成される．
10:00 AM - 10:30 AM
〇Tsunenobu Kimoto1, Mitsuaki Kaneko1 (1. Kyoto Univ.)
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10:30 AM - 11:00 AM
〇Kazuhiro Fukami1 (1. Kyoto Univ.)
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11:00 AM - 11:15 AM
〇Takanori Akita1, Ryoma Kawazoe1, Yuta Okunishi1, Masaru Irita1, Masanori Hayase1 (1. Tokyo University of Science)
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11:15 AM - 11:30 AM
〇shusuke shindo1, Takaki Iseri1, Tomohiro Shimizu1, Takeshi Ito1, Shoso Shingubara1 (1. Kansai University)
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11:30 AM - 12:00 PM
〇Satoru Ito1 (1. Panasonic Semiconductor Solutions Co.,Ltd.)
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1:00 PM - 1:30 PM
〇Takashi Fujii1,2, Toshiyuki Iwamoto1, Sinichiro Mouri2, Tsutomu Araki2, Shigeya Naritsuka3 (1. Nippo Precision Co., Ltd., 2. Ritsumeikan Univ., 3. Meijo Univ.)
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1:30 PM - 2:00 PM
〇Hiroshi Oka1, Keitaro Inoue1, Nguyen Thi Thuy2, Shinichiro Kuroki2, Takuji Hosoi1, Takayoshi Shimura1, Heiji Watanabe1 (1. Osaka Univ., 2. Hiroshima Univ.)
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2:00 PM - 2:15 PM
〇Reo Ichinose1, Mizuki Kurosawa1, Toshiaki Kondo1, Takashi Yanangishita1, Hideki Masuda1 (1. Tokyo Metropolitan Univ.)
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2:15 PM - 2:30 PM
〇Yusaku Sagara1, Yukinori Oda2, Yusuke Matsumura1, Naoki Fukumuro1, Shinji Yae1 (1. University of Hyogo, 2. C. Uyemura & Co., Ltd.)
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