S19.電子材料及びナノ機能素子技術
2019年3月29日(金) 10:00 〜 14:30 C会場 (吉田南総合館共北25)
座長:早瀬 仁則(東京理科大学)、新宮原 正三(関西大学)
主催：電子材料委員会
半導体集積回路技術や電子実装技術等に用いられる電子材料技術においては，電気化学に基づく手法で様々な機能性電子材料や電子素子開発が検討されている．本シンポジウムでは，これらの機能性材料やマイクロからナノサイズに及ぶ電子素子に関連する最新の研究成果を相互に発表し，活発な討論を行うことを目的とする．具体的には，ナノメーターサイズのメモリやトランジスタなどの素子形成及び性能評価技術，3次元金属配線の形成及び材料技術，絶縁膜材料技術，ナノワイヤ・ナノ粒子の形成と機能素子化技術，めっき技術，CVD及びALD技術，化学エッチング技術，CMP技術，洗浄技術，及びこれらの技術分野に関連する評価・解析技術などの分野を包むものとする．なお本シンポジウムは，一般講演と招待講演から構成される．
10:00 〜 10:30
〇木本 恒暢1、金子 光顕1 (1. 京都大学)
スケジュール
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10:30 〜 11:00
〇深見 一弘1 (1. 京都大学)
スケジュール
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11:00 〜 11:15
〇秋田 貴誉1、川添 竜馬1、奥西 祐太1、入田 賢1、早瀬 仁則1 (1. 東京理科大学)
スケジュール
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11:15 〜 11:30
〇深堂 秀亮1、井芹 崇樹1、清水 智弘1、伊藤 健1、新宮原 正三1 (1. 関西大学 )
スケジュール
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11:30 〜 12:00
〇伊藤 理1 (1. パナソニックセミコンダクターソリューションズ株式会社)
スケジュール
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13:00 〜 13:30
〇藤井 高志1,2、岩本 敏志1、毛利 真一郎2、荒木 努2、成塚 重弥3 (1. 日邦プレシジョン（株）、2. 立命館大学、3. 名城大学)
スケジュール
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13:30 〜 14:00
〇岡 博史1、井上 慶太郎1、Thi Thuy Nguyen2、黒木 伸一郎2、細井 卓治1、志村 考功1、渡部 平司1 (1. 大阪大学、2. 広島大学)
スケジュール
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14:00 〜 14:15
〇一之瀬 玲皇1、黒沢 みずき1、近藤 敏彰1、柳下 崇1、益田 秀樹1 (1. ⾸都⼤都市環境)
スケジュール
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14:15 〜 14:30
〇相良 優作1、小田 幸典2、松村 祐亮1、福室 直樹1、八重 真治1 (1. 兵庫県立大学、2. 上村工業)
スケジュール
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