The 86th ECSJ Spring Meeting

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S19.電子材料及びナノ機能素子技術

【電子材料及びナノ機能素子技術】
セッション1（特別講演/一般講演/学生講演）

Fri. Mar 29, 2019 10:00 AM - 2:30 PM C会場 (吉田南総合館共北25)

座長:早瀬 仁則(東京理科大学)、新宮原 正三(関西大学)

主催：電子材料委員会

1:00 PM - 1:30 PM

[3C06] THz域電磁波分光解析による半導体薄膜の非接触・非破壊電気特性測定

〇Takashi Fujii1,2, Toshiyuki Iwamoto1, Sinichiro Mouri2, Tsutomu Araki2, Shigeya Naritsuka3 (1. Nippo Precision Co., Ltd., 2. Ritsumeikan Univ., 3. Meijo Univ.)