The 87th ECSJ Spring Meeting

Presentation information

S14.マイクロ~ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術

セッション2(受賞講演/一般講演/学生講演)

Thu. Mar 19, 2020 11:00 AM - 12:00 PM C3会場(キャパシタ/キャパシタ/マイクロ-ナノ) (5223)

主催:ナノ・マイクロファブリケーション研究会

11:00 AM - 11:15 AM

[3L06(学生講演)] 大ピッチ理想配列スルーホールメンブレンの高スループット形成

〇小崎 真実1、柳下 崇1、益田 秀樹1 (1. 首都大学東京)