ECSJ Fall Meeting, 2021

Presentation information

S13/S8会場

S13. 電子材料及びナノ機能素子

【電子材料及びナノ機能素子】
セッション1(一般講演1)

Wed. Sep 8, 2021 9:30 AM - 10:30 AM I会場(S13/S8) (E307)

座長:新宮原 正三(関西大学)

主催:電子材料委員会

10:00 AM - 10:15 AM

[1I03] マンガンをドープしたシリコン窒化膜の電荷捕獲特性

〇間嵜 玲央1、古性 圭亮1、小林 清輝1 (1. 東海大学大学院 工学研究科)