ECSJ Fall Meeting, 2021

Presentation information

S13/S8会場

S13. 電子材料及びナノ機能素子

セッション3(特別講演2)

Wed. Sep 8, 2021 1:30 PM - 3:00 PM I会場(S13/S8) (E307)

座長:八重 真治(兵庫県立大学)

主催:電子材料委員会

2:15 PM - 3:00 PM

[1I08] 集積回路配線金属薄膜表面の防食層のエリプソメトリその場解析

〇近藤 英一1 (1. 山梨大学)