ECSJ Fall Meeting, 2021

Presentation information

S13/S8会場

S13. 電子材料及びナノ機能素子

セッション4(一般講演2)

Wed. Sep 8, 2021 3:15 PM - 4:30 PM I会場(S13/S8) (E307)

座長:上野 和良(芝浦工業大学)

主催:電子材料委員会

3:45 PM - 4:00 PM

[1I11] 無電解めっきによる微細配線応用に向けたRu膜の形成と評価

〇齊田 亮太1、新宮原 正三1、伊藤 健1、清水 智弘1 (1. 関西大学)