ECSJ Fall Meeting, 2021

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S13/S8会場

S13. 電子材料及びナノ機能素子

セッション4（一般講演2）

Wed. Sep 8, 2021 3:15 PM - 4:30 PM I会場(S13/S8) (E307)

座長:上野 和良(芝浦工業大学)

主催：電子材料委員会

4:00 PM - 4:15 PM

[1I12] 微細金属配線のエレクトロマイグレーションの評価

〇中村 洋介1、畠中 林太郎1、中村 颯汰1、新宮原 正三1、清水 智弘1、伊藤 健1 (1. 関西大学)