ECSJ Fall Meeting, 2021

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S13/S8会場

S13. 電子材料及びナノ機能素子

セッション4（一般講演2）

Wed. Sep 8, 2021 3:15 PM - 4:30 PM I会場(S13/S8) (E307)

座長:上野 和良(芝浦工業大学)

主催：電子材料委員会

4:15 PM - 4:30 PM

[1I13] 下地Cu膜の作製方法による窒素ドープアモルファスカーボン膜の耐湿バリア性変化

〇中島 駿1、上野 和良1,2 (1. 芝浦工業大学大学院、2. グリーンエレクトロニクス国際研究センター)