The 88th ECSJ Spring Meeting

Presentation information

S14会場

S14.マイクロ~ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術

セッション2(学生講演)

Wed. Mar 24, 2021 10:45 AM - 12:15 PM S14会場 (On-line)

座長:國本 雅宏(早稲田大学)

主催:ナノマイクロファブリケーション研究会

11:15 AM - 11:30 AM

[3Q09(学生講演)] Pt触媒Siエッチングにおける時空間パターン形成がもたらすヘリカルポアの自己組織化

〇安田 拓海1、前田 有輝1、松﨑 健太1、岡崎 豊2、小田 玲子3、北田 敦1、邑瀬 邦明1、深見 一弘1 (1. 京都大学大学院 工学研究科 材料工学専攻、2. 京都大学大学院 エネルギー科学研究科、3. ボルドー大学)