The 89th ECSJ Spring Meeting

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S19会場

S19.電子材料及びナノ機能素子技術

【電子材料及びナノ機能素子技術】
セッション1(一般講演)

Tue. Mar 15, 2022 9:00 AM - 10:15 AM S19 (オンライン)

座長:小林 清輝(東海大学)

主催:電子材料委員会

9:15 AM - 9:30 AM

[1R02(一般講演)] 無電解めっきによる微細配線応用に向けたRu膜の形成と評価(Ⅱ)

〇齊田 亮太1、清水 智弘1、伊藤 健1、新宮原 正三1 (1. 関西大学)