The 89th ECSJ Spring Meeting

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S19会場

S19.電子材料及びナノ機能素子技術

【電子材料及びナノ機能素子技術】
セッション1(一般講演)

Tue. Mar 15, 2022 9:00 AM - 10:15 AM S19 (オンライン)

座長:小林 清輝(東海大学)

主催:電子材料委員会

9:30 AM - 9:45 AM

[1R03(一般講演)] 貴金属触媒を用いた湿式Si-TSV形成におけるHF-H2O2濃度比の効果

〇村田 恭輔1、依岡 拓也1、白岩 直哉1、伊藤 健1、新宮原 正三1、清水 智弘1 (1. 関西大学)