電気化学会第89回大会

講演情報

S19会場

S19.電子材料及びナノ機能素子技術

【電子材料及びナノ機能素子技術】
セッション1(一般講演)

2022年3月15日(火) 09:00 〜 10:15 S19 (オンライン)

座長:小林 清輝(東海大学)

主催:電子材料委員会

09:30 〜 09:45

[1R03(一般講演)] 貴金属触媒を用いた湿式Si-TSV形成におけるHF-H2O2濃度比の効果

〇村田 恭輔1、依岡 拓也1、白岩 直哉1、伊藤 健1、新宮原 正三1、清水 智弘1 (1. 関西大学)