電気化学会第89回大会

講演情報

S19会場

S19.電子材料及びナノ機能素子技術

【電子材料及びナノ機能素子技術】
セッション1(一般講演)

2022年3月15日(火) 09:00 〜 10:15 S19 (オンライン)

座長:小林 清輝(東海大学)

主催:電子材料委員会

09:45 〜 10:00

[1R04(一般講演)] シリコンの抵抗率による金属援用エッチング挙動の違い

〇東 恭平1、古川 恭平1、西中 凜1、松本 歩1、八重 真治1 (1. 兵庫県立大学)