The 89th ECSJ Spring Meeting

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S19会場

S19.電子材料及びナノ機能素子技術

【電子材料及びナノ機能素子技術】
セッション1(一般講演)

Tue. Mar 15, 2022 9:00 AM - 10:15 AM S19 (オンライン)

座長:小林 清輝(東海大学)

主催:電子材料委員会

10:00 AM - 10:15 AM

[1R05(一般講演)] シリコンの導電型による金属援用エッチング挙動の違い

〇西中 凜1、古川 恭平1、東 恭平1、松本 歩1、八重 真治1 (1. 兵庫県立大学)