The 89th ECSJ Spring Meeting

Presentation information

S19会場

S19.電子材料及びナノ機能素子技術

セッション2(特別講演)

Tue. Mar 15, 2022 10:30 AM - 12:00 PM S19 (オンライン)

座長:上野 和良(芝浦工業大学)、新宮原 正三(関西大学)

主催:電子材料委員会

11:15 AM - 12:00 PM

[1R07(特別講演)] Cu-SiCNハイブリッド接合を用いた3Dインテグレーション技術

〇井上 史大1 (1. 横浜国立大学)