講演情報

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S19会場

S19.電子材料及びナノ機能素子技術

セッション4(学生講演)

2022年3月15日(火) 14:45 〜 16:45 S19 (オンライン)

座長:八重真治(兵庫県立大学)

主催：電子材料委員会

15:30 〜 15:45

[1R13(学生講演)] 超臨界CO₂金属エッチングの温度・エッチャント濃度依存性

〇竹内創太¹、近藤英一¹ (1. 山梨大学)