The 90th Annual Meeting of the Electrochemical Society of Japan

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S19会場

S19.電子材料及びナノ機能素子

セッション2 (学生講演)

Tue. Mar 28, 2023 8:45 AM - 10:15 AM S19 (9号館935教室)

座長:上野 和良(芝浦工業大学)【現地参加】

主催：電子材料委員会

9:00 AM - 9:15 AM

[2U02(大会学生会員講演)] TSVに対応したCoWBバリア膜上の直接Cu電解めっき技術

【オンライン参加】

〇陳 少韓1、白岩 直哉1、清水 智弘1、伊藤 健1、新宮原 正三1 (1. 関西大学)