電気化学会第90回大会

講演情報

S19会場

S19.電子材料及びナノ機能素子

セッション2 (学生講演)

2023年3月28日(火) 08:45 〜 10:15 S19 (9号館935教室)

座長:上野 和良(芝浦工業大学)【現地参加】

主催:電子材料委員会

09:30 〜 09:45

[2U04(大会学生会員講演)] 触媒薄膜パターンを用いたn型およびp型シリコンの金属援用エッチング ーメソポーラス層の分布の違いー

【現地参加】

〇西中 凜1、東 恭平1、橋口 逹希1、松本 歩1、八重 真治1 (1. 兵庫県立大学)