セッション15

[3I09(一般講演)] CF₄支援反応性スパッタ法によるLa_1-xBa_xF_3-xエピタキシャル薄膜作製とF^-伝導特性評価

【現地参加】

〇深津 圭佑¹、清水 亮太¹、大井 あすか¹、小林 成¹、西尾 和記¹、一杉 太郎² (1. 東京工業大学、2. 東京大学)