The 91st Annual Meeting of the Electrochemical Society of Japan

Presentation information

S19会場

電子材料及びナノ機能素子

次世代電子デバイス材料(1)

Thu. Mar 14, 2024 10:00 AM - 11:00 AM S19 (1号館 132講義室)

座長:近藤 敏彰(愛知工科大学)

主催:電子材料委員会

10:30 AM - 10:45 AM

[S19_1_03(学生講演)] 白金および銀の薄膜パターンを用いたp型シリコンの金属援用エッチング

〇仲山 拓真1、西中 凜1、東 恭平1、橋口 達希1、松本 歩1、八重 真治1 (1. 兵庫県立大学)