スケジュール 1 いいね! 0 コメント (0) 13:15 〜 13:30 [S19_1_08(一般講演)] 不純物ドープによりシリコン窒化膜に生成した点欠陥の電荷捕獲現象とカソードルミネッセンス 〇小林 清輝1、古性 圭亮1、杉江 隆一2 (1. 東海大学、2. 東レリサーチセンター)