電気化学会第91回大会

講演情報

S19会場

電子材料及びナノ機能素子

次世代電子デバイス材料(3)

2024年3月14日(木) 13:00 〜 13:30 S19 (1号館 132講義室)

座長:八重 真治(兵庫県立大学)

主催:電子材料委員会

13:15 〜 13:30

[S19_1_08(一般講演)] 不純物ドープによりシリコン窒化膜に生成した点欠陥の電荷捕獲現象とカソードルミネッセンス

〇小林 清輝1、古性 圭亮1、杉江 隆一2 (1. 東海大学、2. 東レリサーチセンター)