低熱伝導性窒化物薄膜の開発

4:10 PM - 4:35 PM

[100301-08-07] 低熱伝導性窒化物薄膜の開発

○安達真樹¹、藤田利晃¹ (1. 三菱マテリアル(株) イノベーションセンター)

司会:新井翔(東邦亜鉛（株）)

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