2022年6月30日(木) 13:00 〜 14:00 General Scopes of Photopolymer Science and Technology (A14)

Chairman:Masayuki Endo(Osaka University)

2022年6月30日(木) 09:00 〜 12:10 一般講演 (B3)

座長:遠藤 政孝(大阪大学)

2022年6月30日(木) 09:00 〜 11:30 Computational / Analytical Approach for Lithography Processes (A4)

Chairman:Tomoki Nagai(JSR Corporation), Takahiro Kozawa(Osaka University)

2022年6月30日(木) 09:00 〜 10:40 Strategies and Materials for Advanced Packaging, Next Generation MEMS, Flexible Devices (A10)

Chairman:Takumi Ueno(Shinshu University), Masao Tomikawa(Toray)

2022年6月30日(木) 09:30 〜 11:00 プラズマ光化学と高分子表面機能化 (B2)

座長:笹井 泰志、近藤 伸一

2022年6月30日(木) 10:00 〜 10:40 2D and Stimuli Responsive Materials for Electronics & Photonics (A9)

Chairman:Takashi Yamashita, FRSC(Tokyo University of Technology), Shu Seki, FRSC(Kyoto University)

2022年6月30日(木) 10:40 〜 12:00 Strategies and Materials for Advanced Packaging, Next Generation MEMS, Flexible Devices (A10)

Chairman:Sanjay Malik(FUJIFILM ELECTRONIC MATERIALS U.S.A.), Akira Watanabe(Tohoku University)

2022年6月30日(木) 11:00 〜 12:15 プラズマ光化学と高分子表面機能化 (B2)

座長:井上 泰志、近藤 伸一

2022年6月30日(木) 13:00 〜 14:40 Strategies and Materials for Advanced Packaging, Next Generation MEMS, Flexible Devices (A10)

Chairman:Tetsuya Enomoto(Showa Denko Materials), Takumi Ueno(Shinshu University)

2022年6月30日(木) 14:00 〜 16:00 Panel Symposium：“Beyond Sub-10 nm Lithography – From a Material Design and Development Perspective–“ (P1)

Chairman:Teruaki Hayakawa(Tokyo Institute of Technology)