Non-invasive diagnostics for characterizing conditions at plasma electrode during thin film growth

講演情報

Oral Presentation

1.Fundamentals of Sputtering and Plasma Processes

2024年7月3日(水) 10:40 〜 12:30 Room O (Science Hall)

11:30 〜 11:50

*Daniel Lundin¹, Ulf Helmersson¹, Martin Cada², Zdenek Hubicka² (1. Linköping University, 2. Academy of Science of the Czech Republic)

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