11:50 〜 12:10
[TH2-03] Continuous pulse-resolved spectroscopic and electrical plasma monitoring in HIPIMS and pulsed sputtering applications
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Oral Presentation
1.Fundamentals of Sputtering and Plasma Processes
2024年7月3日(水) 10:40 〜 12:30 Room O (Science Hall)
11:50 〜 12:10
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