Reactive Process Control in Industrial HiPIMS

講演情報

Oral Presentation

3.Pulsed Sputtering and HiPIMS

2024年7月4日(木) 09:00 〜 10:20 Room O (Science Hall)

10:00 〜 10:20

*Johan Böhlmark¹, Jacob Törngren¹, Daniel Lundin^1,2 (1. Ionautics AB, 2. Plasma and Coatings Division, IFM-Materials Physics, Linköping University)

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