Preparation of Ru and Hf thin films by sputtering with different noble gas species

講演情報

Poster Presentation

Poster Session

2024年7月3日(水) 17:40 〜 19:10 Room P (Atrium)

17:40 〜 19:10

*Yamato Yokoyama¹, Midori Kawamura¹, Kazuhisa Suzuki¹, Takayuki Kiba¹ (1. Kitami institute of technology)

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