ISSP2024

講演情報

Poster Presentation

Poster Session

Poster Session P4

2024年7月4日(木) 17:40 〜 19:10 Room P (Atrium)

17:40 〜 19:10

[P4-01] On the connection between the self-sputter yield and deposition rate in high power impulse magnetron sputtering

*Jon Tomas Gudmundsson1,2, Kateryna Barynova1, Swetha Suresh Babu1, Martin Rudolph3, Joel Fischer4, Michael A Raadu2, Nils Brenning2,4, Daniel Lundin4 (1. University of Iceland, 2. KTH Royal Institute of Technology, 3. Leibniz Institute of Surface Engineering (IOM), 4. Linköping University)

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