Nitridation Processes of Ti Films for Non-Evaporable Getter Coating

講演情報

Poster Presentation

Poster Session

2024年7月5日(金) 12:40 〜 14:40 Room P (Atrium)

12:40 〜 14:40

*Takuya Ohba¹, Takeo Nakano¹, Md. Suruz Mian¹, Yuka Fujii¹, Kazuhiro Mase^2,3, Takashi Kikuchi² (1. Seikei Univ., 2. KEK, 3. SOUKENDAI)

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