Deposition rate of Zinc Oxide thin films in Reactive Sputtering different discharge formats

講演情報

Poster Presentation

Poster Session

2024年7月5日(金) 12:40 〜 14:40 Room P (Atrium)

12:40 〜 14:40

*Kosuke Kasugai¹, Haruki Sato¹, Md. Suruz Mian¹, Takeo Nakano¹ (1. Seikei University)

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