ISSP2024

講演情報

Oral Presentation

2.Sputtering and Plasma Process Technologies

Oral Session SP2

2024年7月5日(金) 14:50 〜 16:40 Room O (Science Hall)

16:20 〜 16:40

[SP2-05] A comparative study of Zr-O2, Zr-N2, Zr-CH4, and Zr-CF4 direct current reactive magnetron sputtering discharge characteristics

*Eiji Kusano1 (1. Kanazawa Institute of Technology)

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