Gas analysis by remote plasma emission spectroscopy, from reactive sputtering to fusion reactor control

講演情報

Oral Presentation

4.Fundamentals of Thin Films Growth

2024年7月5日(金) 09:00 〜 10:20 Room O (Science Hall)

10:00 〜 10:20

*Dermot Monaghan Monaghan¹, Joseph Brindley¹, Kieran Massey¹, Benoit Daniel¹, Victor Bellido¹ (1. Gencoa ltd)

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