Evaluation of Frictional Anisotropy of Metallic thin Films Deposited by GLAD

講演情報

Technical Session

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Micro Fabrication and Sensing

2023年9月26日(火) 16:30 〜 18:30 会場 G (中会議室411)

Christian Orgeldinger (University of Bayreuth, Germany)
Yoshitaka Nakanishi (Kumamoto University, Japan)

16:30 〜 16:50

*Guilherme Bernardes Rodrigues, Nicolas Martin, Fabien Amiot, Guillaume Colas (University Bourgogne Franche-Comté, France)

キーワード：GLAD, Sputtering deposition, Frictional anisotropy, Scratch tests

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