13:15 〜 13:30
*Annas Bin Ali1, Matthias Bernien 1, Janez Setina2, Karl Jousten1 (1. Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig and Berlin, Germany (Germany), 2. IMT Institute of Metals and Technology (Slovenia))
Parallel Sessions
Vacuum Science and Technology
2022年9月12日(月) 13:15 〜 15:15 Room D (Mid-sized Hall B)
13:15 〜 13:30
*Annas Bin Ali1, Matthias Bernien 1, Janez Setina2, Karl Jousten1 (1. Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig and Berlin, Germany (Germany), 2. IMT Institute of Metals and Technology (Slovenia))
13:30 〜 13:45
*Takao Nakamura1, Masahide Kuroiwa2, Shinsuke Kishikawa2, Ryuichiro Kamei3 (1. Institute of Industrial Science, The University of Tokyo, 2. Tokyo Electronics Co. Ltd., 3. Seinan Industry Co. Ltd.)
13:45 〜 14:00
*Risa Naruse1, Sakae Inayoshi1 (1. ULVAC, Inc. (Japan))
14:00 〜 14:15
*Naoki Ogawa1, Hiroki Kurisu2, Setsuo Yamamoto2 (1. RORZE Corporation (Japan), 2. Univ. of Yamaguchi (Japan))
14:15 〜 14:30
*Verena Velthaus1,2, Christina Trautmann1,2, Markus Bender1,3 (1. GSI Helmholtzzentrum fuer Schwerionenforschung (Germany), 2. Technische Universitaet Darmstadt (Germany), 3. Hochschule RheinMail (Germany))
14:30 〜 14:45
*Katharina Battes1, Christian Day1, Volker Hauer1 (1. Karlsruhe Institute of Technology (KIT) (Germany))
14:45 〜 15:15
*James Fedchak1 (1. National Institute of Standards and Technology (United States of America))
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