IVC-22

講演情報

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Parallel Sessions

Vacuum Vision 2030

[Mon-A2] Vacuum Vision 2030

2022年9月12日(月) 15:30 〜 17:30 Room A (Main Hall)

16:15 〜 16:45

[Mon-A2-2I] Vacuum trends from EUV equipment perspective

*Ton van der Net1 (1. ASML (Netherlands))

キーワード：EUV, Lithography, sustainability, roadmap

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