IVC-22

講演情報

Parallel Sessions

Vacuum Science and Technology

[Mon-D1] Vacuum Science and Technology -- Outgassing, Adsorption, Desorption

2022年9月12日(月) 13:15 〜 15:15 Room D (Mid-sized Hall B)

14:45 〜 15:15

[Mon-D1-7I] Outgassing, Desorption, and Gas Uptake Studies: Our path towards UHV and XHV standards, with some interesting detours

*James Fedchak1 (1. National Institute of Standards and Technology (United States of America))

キーワード:Vacuum, extreme-high vacuum, outgassing, ultra-high vacuum, vacuum metrology

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