IVC-22

講演情報

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Parallel Sessions

Thin Film

[Mon-G1] Thin Film

2022年9月12日(月) 13:15 〜 15:15 Room G (Small Hall)

14:30 〜 14:45

[Mon-G1-5] Diamond-like Carbon Synthesized by Photoemission-Assisted PECVD

*Susumu Takabayashi1 (1. National Institute of Technology, Ariake College (Japan))

キーワード：Diamond-like carbon (DLC)

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