[Mon-PO1B-1] Measurement Apparatus to Obtain Electrical Characteristics of GeO2/Ge Structures Exposed to Controlled Amount of H2O Molecules
キーワード：germanium oxide, metal-oxide-semiconductor structure, adsorbed water film, capacitance-voltage characteristics, vacuum
要旨・抄録、PDFの閲覧には参加者用アカウントでのログインが必要です。参加者ログイン後に閲覧・ダウンロードできます。
» 参加者用ログイン