IVC-22

講演情報

Parallel Sessions

Vacuum Science and Technology

[Thu-D1] Vacuum Science and Technology -- Vacuum Measurements, Diagnostics

2022年9月15日(木) 10:15 〜 12:15 Room D (Mid-sized Hall B)

11:15 〜 11:30

[Thu-D1-3] Investigation of electron emission behavior of Ta cathode of novel ionization gauge in CO, CO2 and O2

*Tim Verbovsek1, Janez Setina1 (1. Institute of Metals and Technology (Slovenia))

キーワード:ionization gauge, tantalum cathode, thermionic emission

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