IVC-22

講演情報

Parallel Sessions

ISSP / Surface Engineering

[Thu-H2] ISSP / Surface Engineering

2022年9月15日(木) 13:45 〜 15:45 Room H (Meeting Room 204)

13:45 〜 14:15

[Thu-H2-1I] Patterning and nanostructuration of plasma thin films grown under acoustic wave activation

*Manuel Oliva Ramirez1,2, Ana Gomez-Ramirez1,2, Aurelio Garcia-Valenzuela2, Armaghan Fakhfouri3, Victor Rico-Gavira2, Teresa Cristina Rojas2, Rafael Alvarez2, Siegfried B. Menzel3, Alberto Palmero2, Andreas Winkler3, Agustín R. Gonzalez-Elipe2 (1. Departamento de Fisica Atomica, Molecular y Nuclear, Universidad de Sevilla, Avda. Reina Mercedes, 41012 Seville, Spain. (Spain), 2. Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-Univ. Sevilla), Avda. Americo Vespucio 49, 41092 Sevilla, Spain. (Spain), 3. IFW Dresden, SAWLab Saxony, Helmholtzstr. 20, 01069 Dresden, Germany. (Germany))

キーワード:plasma, thin films, patterning, magnetron sputtering

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