15:30 〜 15:45
[Tue-D2-2] Analysis of the Photon Stimulated Desorption for the NEG-coated chambers
キーワード:Photon Stimulated Desorption, NEG-coating
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Parallel Sessions
Vacuum Science and Technology
2022年9月13日(火) 15:00 〜 17:00 Room D (Mid-sized Hall B)
15:30 〜 15:45
キーワード:Photon Stimulated Desorption, NEG-coating
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