<strong>A Very Short Impulse Plasma Generator for Plasma Polymerization Purpose– Plasma Parylene Film as an Example</strong>

13:15 〜 13:30

[Tue-K1-2] A Very Short Impulse Plasma Generator for Plasma Polymerization Purpose– Plasma Parylene Film as an Example

*Ju Liang He¹, Ping Yen Hsieh¹, Xuan Xuan Chang¹, YING HUNG Chen¹ (1. Feng Chia University (Taiwan))

キーワード：Plasma Parylene , Plasma Polymerization

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