[Tue-PO1D-6] Excellent compositional controllability of HZO films using time resolved Programmable Radical-Assisted Sputtering
キーワード:sputtering, multilayer, RAS, Hafnium Zirconium Oxide, pulse DC
要旨・抄録、PDFの閲覧には参加者用アカウントでのログインが必要です。参加者ログイン後に閲覧・ダウンロードできます。
» 参加者用ログイン