IVC-22

講演情報

Poster Session

Poster Session (17:00-18:30)

[Tue-PO1E] Poster Session (17:00-18:30) Category E

2022年9月13日(火) 17:00 〜 18:30 Poster E (Main Hall)

[Tue-PO1E-8] Fabrication Method of Y2O3 Coated Filament

*Yuki Anai1, Toru Okuno1, Munenori Suzuki1, Tomonari Tanaka1 (1. ULVAC, Inc. (Japan))

キーワード:electron sources, ion sources, vacuum measurements, vacuum gauges, filaments, Y2O3, yttria, iridium, electrophoretic deposition, EPD

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