<strong>Performance evaluation of Turbo Molecular Pump by Direct Simulation Monte Carlo method (DSMC)</strong><strong></strong>

14:30 〜 14:45

[Wed-D1-2] Performance evaluation of Turbo Molecular Pump by Direct Simulation Monte Carlo method (DSMC)

*Kaoru Wada¹, Junichiro Kamiya² (1. Tokyo Electronics Co., Ltd. (Japan), 2. Japan Atomic Energy Agency (Japan))

キーワード：Turbo Molecular Pump

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